压电微机械超声波换能器芯片：对标英特神斯、高通、东丽公司产品

本项目研发出的此微机械压电超声波传感器，突破了传统微型超声波传感芯片的器件结构和高性能压电薄膜材料制备工艺方面的挑战，研制出的具有自主知识产权的微型超声传感器件。

技术优势：

传感器芯片尺寸为1.4mm*1.4mm；最远测距能力＞6米；是目前已知测距能力最好的微型硅基超声波传感器；突破了低应力、高压电性能的ScAlN压电薄膜沉积技术、超声波换能器振元及阵列结构设计等关键技术；克服了振元结构的批量化制备、超声波换能器驱动及信号检测电路、测距算法等困难。

应用场景：

一、医疗领域

该技术可用于超声成像与治疗，如手持式B超、血管内超声（IVUS）等设备，实现高分辨率成像与非侵入性治疗（如肿瘤消融）；还可用于脉搏、血压等生理参数的无创检测等。

二、消费电子

该技术可用于用于屏下指纹识别（穿透表皮层检测真皮层）和AR/VR手势控制，兼顾高安全性（防假指纹）与毫米级交互精度；还可支持精准空间定位，用于智能家居、TWS耳机等智能设备。

三、工业与汽车

该技术可用于无损检测，如检测金属/复合材料内部缺陷和管道压力流量，适用于航空航天与能源设备；还可用于智能汽车，支持自动驾驶雷达和车内手势控制，兼具成本优势与高可靠性。

四、新型应用

该技术可用于能源与环境，如超声波加湿器（无铅环保）和无线充电/通信，拓展物联网设备供能方式；以及生物识别与安防，实现活体检测（区分真假组织）和声学标签防伪，满足高安全场景需求。

该压电微机械超声波换能器芯片可对标英特神斯、高通（Qualcomm）、东丽（Toray）、TDK-Chirp、imec、茂丞科技等公司的相关产品。

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